設(shè)備型號(hào)：FWA-3040TKC
清洗對(duì)象：藍(lán)寶石基片
使用廠家：福建晶安光電
龍門單臂自動(dòng)超聲波清洗機(jī)，藍(lán)寶石基片清洗機(jī)
清洗工藝:
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序 號(hào) |
工序方法 |
清洗方式 |
清洗時(shí)間 |
清洗液 |
加熱功率 |
過濾 |
進(jìn)水 |
排水 |
缸蓋 |
拋動(dòng) |
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1 |
進(jìn)料 |
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2 |
超聲波清洗 |
120KHZ / 2KW |
5~10min |
清洗劑 |
6KW |
有 |
自動(dòng) |
手動(dòng) |
/ |
有 |
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3 |
噴淋漂洗 |
噴淋 |
5~10min |
純水 |
6KW |
有 |
自動(dòng) |
手動(dòng) |
有 |
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4 |
浸泡出料 |
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3.1進(jìn)料→超聲波漂洗(120Khz)→噴淋漂洗→浸泡出料
3.2 清洗目的：去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑
3.3清洗介質(zhì)：水+脫脂劑
3.4清洗對(duì)象：晶圓
3.5 清洗能力：5-10min可清洗450片晶圓，即18只花籃。
用戶已將晶園擺放在花籃內(nèi)，花籃規(guī)格為：70×125×70mm,每個(gè)花籃裝載25片晶圓。
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